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1. Dual Dispenser 스테이지 (OLED)
1. Dual Dispenser 스테이지 (OLED)
적용 분야: OLED 디스펜서 장비
주요 사양:
위치 정밀도: ±5 μm
반복 정밀도: ±2 μm
속도: 500 mm/sec
가속도: 0.5G
스테이지 크기: 1,200(W) × 1,200(L) × 1,564(H) mm
OLED 패널 생산 라인에서 정밀한 소재 분사 공정에 사용되는 스테이지로, 빠른 속도와 높은 반복 정밀도를 실현합니다.
4. Module Tester 스테이지 (SEMI Single Axis)
4. Module Tester 스테이지 (SEMI Single Axis)
적용 분야: 반도체 모듈 테스트
주요 사양:
위치 정밀도: ±2 μm
반복 정밀도: ±1 μm
위치 안정도: ±0.02 μm
스테이지 크기: 660(W) × 223(D) × 70(H) mm
총 중량: 약 15 kg(사용자 하중 제외)
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